虽然真空热处理设备的投资比较大，但金属和合金在真空热处理时会产生一些和常规热处理技术所没有的作用，是一种能得到高的表面质量的热处理新技术，目前越来越受到重视。
真空热处理的效果，真空的保护作用真空加热时，由于氧的分压很低，可以有效防止氧化和脱碳。同时真空热处理属于无污染的洁净热处理。表面净化作用在高真空中氧的分压很低，加热可以加速金属氧化物分解，从而获得光亮的表面。脱脂作用在机械加工时，弹簧不可避免地沾有油污。在真空加热时，这些油污迅速分解为氢、水蒸气和二氧化碳，很容易蒸发而被排出炉外。所以在真空热处理中，即使弹簧表面有轻微的油污也会得到光亮的表面。脱气作用在真空中长时间加热能使溶解在金属中的气体逸出，有利于提高钢的韧性。弹簧变形小在真空中加热，升温速度慢，弹簧截面温差小，所以处理时变形小。
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